在大氣壓下在100℃以上的水蒸氣處于過熱狀態。相對濕度范圍的特征在超熱區域急劇變化。它有點像通過聲屏障，物理在超熱區域采取新特性，就像在超聲波區域一樣。如果沒有為變化做好準備，這可能會令人困惑。

低于100°C，在任何溫度下都可以達到100％的相對濕度。高于100°C（在超熱區域），隨著溫度升高，最大可能的相對濕度會迅速下降。純蒸汽（100°C露點）在150°C的相對濕度范圍內僅能記錄20％。在175°C時，最大可能的RH僅為10％。在200°C時，最大相對濕度僅為5.9％，在370°C時，最大相對濕度僅為0.48％。

已發布精度為+/- 1％的電磁流量計僅表示真實濕度水平，在150°C時精度為+/- 5％（20％中+/- 1％），+ / - 10％時為+/- 10％即使傳感器未被高溫破壞，但在200°C時為175°C，+ / - 17％，在370°C時無用。

大多數電磁流量計在某些特定溫度以上具有降低的精度規格。公布精度為+/- 1％的儀器可能在90°C以上+/- 2％。這有時很難在數據表中找到，但通常在某處。如果在高溫下RH精度降至+/- 2％，則真實濕度水平在150°C時的精度為+/- 10％，在175°C時為+/- 20％，在+ 175％時為+/- 34％。 200℃。

即使我們忘記了電磁流量計在100°C以上的絕對精度，RH水垢本身在超高溫區域也存在問題。完全準確的電磁流量計可以在150℃的溫度下指示10％RH。該點相當于50％體積水分，或露點82℃或濕度比（lb水蒸汽/ lb干燥空氣）為.622。同樣的儀器將在175°C，100％濕度（體積百分比），或露點為100°C，或濕度比為無窮大時顯示10％RH。

以上表明，在高于100℃的溫度下，相對濕度標度基本上是無用的或甚至是誤導的。

一些相對濕度儀器可以指示露點或另一個絕對濕度標度。這是通過測量RH和溫度然后計算絕對濕度來完成的。由于RH標度上的最大指示有限，因此該方法在100°C以上不準確。